原子氧源

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• 詳細參數

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  HD系列是建立在牛津應用研究在為科學界提供射頻原子源的廣泛經驗之上的。最新系列的模型產生的中性光束具有極高的原子通量和零離子含量。原子只有熱能，但卻具有高度的活性。這保證了極高質量的材料快速增長，而沒有與離子束處理相關的點缺陷。我們的源進一步被設計成多功能的，允許用戶簡單地完成不同氣體和流動狀態之間的變化.

  
  

  應用領域

  牛津應用研究公司的射頻原子源被廣泛應用于各種薄膜工藝的研究和全自動生產應用中。反應束的熱特性確保了原子物種快速傳

  遞到襯底，而不會產生高能過程的有害后果。這使得該源非常適合生長高質量的氮化物和氧化物，以及使用原子氫進行低損害清

  潔。這些源在諸如GaInNAs、GaN、ZnO、超薄Al、介質氧化物、O薄膜和高k薄膜等應用中取得了巨大的成功.

  
  

  操作原理

  在射頻原子源中，氣體(如氮氣)被引入全陶瓷腔(放電區)。等離子體是由應用電感耦合射頻激勵在放電區誘導。等離子體將原料氣

  體分解成離子和中性反應原子，中性反應原子通過多孔的等離子體限制板進入過程室。帶電粒子被保留在等離子體中。這些來源包括高效的水冷卻，以確保操作過程中的污染最小。他們還具有等離子體的磁約束，以提高裂解效率，和一個超級高效的匹配網絡，在最大運行功率下顯示幾乎為零的功率損耗。

  
  

• 詳細參數

  The HD series builds on Oxford Applied Research's extensive experience in providing radio frequency atomic sources to the scientific community. The latest series of models produces neutral beams with extremely high atomic flux and zero ion content. Atoms have only thermal energy, but are highly reactive. This ensures rapid growth of extremely high-quality materials without the point defects associated with ion beam processing. Our sources are further designed to be multifunctional, allowing the user to easily change between different gases and flow states.

  
  

  Application field

  Oxford Applied Research's RF atomic sources are widely used in research and fully automated production applications for a variety of thin film processes. The thermal properties of the reactive beam ensure fast transfer of atomic species

  to the substrate without the detrimental consequences of high-energy processes. This makes the source ideal for growing high-quality nitrides and oxides, as well as for low-damage cleaning using atomic hydrogen

  clean. These sources have achieved great success in applications such as GaInNAs, GaN, ZnO, ultrathin Al, dielectric oxides, O thin films, and high-k thin films.

  
  

  Principle of Operation

  In an RF atomic source, a gas, such as nitrogen, is introduced into an all-ceramic cavity (discharge area). Plasma is induced in the discharge region by applying inductively coupled RF excitation. Plasma will feed gas

  The bulk is broken down into ions and neutral reactive atoms, which enter the process chamber through a porous plasma confinement plate. Charged particles are retained in the plasma. These sources include efficient water cooling to ensure minimal contamination during operation. They also feature the magnetic confinement of the plasma for improved pyrolysis efficiency, and a super-efficient matching network that shows almost zero power loss at maximum operating power.

  
  

• 產品特色

  因用于機器人各方面應用且與大多數機器人類型兼容，AutoCal系統可以檢測出機器人自身構造和工具中心點（TCP）的 突然改變或偏離，并且該系統無需人為干涉就自動地更正這些誤差。

  AutoCal系統-Dynalog的先進水平校準技術，Dynalog是機器人單元標定技術的世界領導者。它的主流產品DynaCal 系統，被應用于離線的機器人單元校準，并作為最精確的和技術先進的機器人校準程序為許多機器人制造商和終端使用者所接受。AutoCal 系統將已證實的DynaCal校準技術結合到一個在線的全自動系統中，該系統專為程序控制和復原而設計的，價格低廉。

• 詳細介紹

  AutoCal系統提供在線的機器人校準方案，旨在快速和自動地保證機械設備的工作性能。因用于機器人各方面應用且與大多數機器人類型兼容，AutoCal系統可以檢測出機器人自身構造和工具中心點（TCP）的 突然改變或偏離，并且該系統無需人為干涉就自動地更正這些誤差。這意味著不用猜測哪里會出錯，不用浪費寶貴時間在機器人程序重復校準上，產品品質無任何損失。

  AutoCal系統-Dynalog的先進水平校準技術，Dynalog是機器人單元標定技術的世界領導者。它的主流產品DynaCal 系統，被應用于離線的機器人單元校準，并作為最精確的和技術先進的機器人校準程序為許多機器人制造商和終端使用者所接受。AutoCal 系統將已證實的DynaCal校準技術結合到一個在線的全自動系統中，該系統專為程序控制和復原而設計的，價格低廉。