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極紫外光源

極紫外光源

Resonance EUV無窗口光源是一種射頻激發的流動光源,在EMI屏蔽外殼中有一個細管孔。這個光源可以安裝在33.78毫米或更大的CF型法蘭上。 燈組件有一個整體的射頻勵磁機,它由一個小的電源供電。這種供應足以在每秒鐘10個光子的范圍內產生主要中性稀有氣體的排放。

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